ヒーターとサーマルソリューション

PBN/PGヒーターは、1700℃以上の超高真空下にて優れた均熱性 (ウェハで2°C) で動作します。 高温での化学気相成長法による非常に純度の高い非脆性の耐火材料で、ほとんどの腐食性ガスや液体に対して化学的に不活性であるほか、ほとんどの溶融金属に影響を受けることもありません。 モメンティブ・テクノロジーズは、高温 (最高 1000°C) でのウェハハンドリングのニーズに合わせて、ヒーター機能付き静電チャック (ESC) をカスタム設計することもできます。