セラミック材料

熱分解グラファイトとコーティング

超高純度、高性能

熱分解グラファイト(PG)は、機械加工されたグラファイトハードウェアを封止するためのコーティングとして人気があり、不浸透性の保護層を形成し、従来のグラファイトでは達成できなかった機械的、熱的、電気的特性を有しています。超高純度の製品であるPGは、理論密度に近く、高い異方性(ab方向で300W/m・K、c方向で3.5W/m・K)を持っています。PGは化学的に不活性であり、高温環境下(3000℃まで)でも安定しています。

特徴と利点

  • 化学的不活性が、特定の化学物質による腐食に対する保護層として機能
  • 超高純度が、汚染のリスクを最小限に抑える
  • 3000°Cまでの安定性が、高温環境下での信頼性を実現
  • 不透過性により、高真空環境下の用途での使用が可能
  • 自己潤滑性により、加工時に特殊工具が不要
  • 低いエッチング率で、特定の化学環境下での耐エッチング層を実現
  • 指向性のある電気的・熱的特性により、電熱体や高温下での熱シールド材として利用可能
  • 無発塵のため、真空環境での使用が可能

特注コーティング・ソリューションの世界的技術先駆者として知られるモメンティブ・テクノロジーズは、多岐に渡るグラファイト加工と測定の手腕を活かし、お客様独自のニーズにお応えします。この特殊なグラファイトは、板状や機械加工品、またはグラファイト上のコーティングとして利用可能です。専門エンジニアのチームが、お客様の特定の用途に適したソリューションの設計をサポートいたします。

TPG

主な用途

  • スパッタリングターゲット、イオンビームグリッド、イオン注入ハードウェア、液相エピタキシーハードウェアおよび結晶成長などの半導体用途
  • 断熱材
  • 冶金用途
  • 薄膜製造
  • 医薬品製造
  • グラファイト製造
  • 軍事機器
  • 発熱素子

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熱分解グラファイトとコーティング

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