セラミック材料
PBN材料とPBNコーティンググラファイト
高性能、高温、超高純度
熱分解窒化ホウ素（PBN）は、高い電気抵抗と熱伝導性を併せ持ち、低熱膨張率、耐熱衝撃性が要求される用途使用検討できる優れた材料です。 毒性はなく、非多孔性、高純度のPBNは、2次元または3次元の形状のグラファイト上に容易に蒸着し、るつぼ、ボート、板材、ウェハー、チューブ、ボトルなどの形状で使用することができます。 異方性により厚み方向への優れた断熱性と面方向への優れた熱伝導性で知られるPBNは、1700℃まで高い温度安定性があり、熱衝撃にも高い。グラファイトにコーティングした場合は、ほとんどの溶融金属（Al、Ag、Cu、Ga、Ge、Snなど）や酸、高温アンモニアを含む腐食環境からグラファイトを保護することができます
特徴と利点
- PBNの超高純度と緻密性高濃度でにより、アウトガスの極めて少ない環境を実現することにより、高温のUHV条件に適しています
- ほとんどのガスや溶融金属に対して化学的に不活性で、pBNを高温プロセスで使用しても、汚染や構造上の問題を心配する必要ありません
- 高温環境下において、高い電気絶縁性と安定した誘電率を併せ持つ材料です
- 優れた熱伝導性と靭性により、高い耐熱衝撃性を有する
- 軟性と靭性のバランスにより、複雑な形状の加工が可能
エンジニアド・コーティング・ソリューションの世界的技術先駆者として知られるモメンティブ・テクノロジーズでは、コーティングのみの提供するコーティングサービスから、ワークの設計、加工、検査の一貫生産まで幅広く行います。 さらに、日本と米国に生産拠点を持ち、専門のエンジニアチームがお客様の特定の用途に適したソリューションを設計するお手伝いをしています。
Typical PBN Physical Properties
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Apparent Density (gm/cm3) |
1.95 - 2.22 |
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Tensile Strength (MPa, psi) |
40, 6000 |
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Flexural Strength (MPa, psi) |
80,12000 |
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熱伝導率（W/m・K） |
"ab" 60 |
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"c" 2 |
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CTE [mm/mm/°C] |
"ab"2xl0·6 |
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Resistivity (ohm-cc) |
1015 |
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Dielectric Strength (D.C. volts/mmc) |
2x105 |
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誘電率 |
"ab" 5.2 |
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"c" 3.4 |
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Total Metallic Impurities (ppm) |
10 |
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Outgassing |
Negligible |
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Maximum Suggested Use (°C) |
2500 |
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典型的な値。
Principal Bulk Impurities in PBN
| Impurity | ppm | |
|---|---|---|
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Na |
<2 |
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Al |
0.4 |
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Si |
3 |
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Ca |
3 |
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Fe |
0.2 |
|
典型的な値。
このチャートに記載の情報は、情報提供のみを目的としています。 この情報は、製品や材料を推奨するものではなく、特定の使用ケースやニーズに情報を適用する際には、お客様ご自身の専門知識と専門的な判断を用いていただくことを明示的な条件として、お客様に提供されています これは一般的な情報のみであり、その有効性は、モメンティブ・テクノロジーズが把握していない個々の要因によって影響を受ける可能性があります。 この情報を使用する方は、特定の状況に関して適切な解釈と適用を行う責任があります。
主な用途
- GaAsやInPなどの化合物半導体の結晶成長
- MBEおよびMOCVD装置
- OLED電極やCIGS太陽電池処理装置などの金属蒸着・溶湯処理装置
- 還元環境での活性ろう付けや反応焼結のための備品
- 進行波管用の螺旋状支持棒
