セラミック製品
セラミックコーティング
安定性と 純度を極限まで追求
モメンティブ・テクノロジーは、特注コーティングソリューションの世界的リーダーとして知られています。専門エンジニアのチームが、卓越した知識と技術でお客様のご要望に応じたカスタマイズソリューションを設計します。
炭化タンタル(TaC)
究極の熱安定性と耐薬品性
モメンティブ・テクノロジーは、ルツボ、ガイドリング、ウェハーキャリア、サセプター向けに独自開発の炭化タンタル（TaC）コーティングを提供しています。高純度、高温安定性、高耐薬品性を備えたTaCコーティングは、SiC/GaN結晶とエピ層の製品品質を向上させ、主要な反応炉部品の寿命を延ばします。
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主な機能 |
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主な用途 |
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産業 |
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熱分解窒化ホウ素（PBN）材料とコーティング
高性能、高温、超高純度
熱分解窒化ホウ素（PBN）は、高い電気抵抗率と熱伝導率を併せ持ち、卓越した強度、低熱膨張係数、耐熱衝撃性が要求される用途への使用が検討できる優れた材料です。毒性はなく、非多孔性、高純度のPBNは、グラファイトにコーティングとして使用または蒸着した後、容易に2Dまたは3Dの形状に加工して、ルツボ、ボート、プレート、ウェハー、チューブ、ボトルなどに使用できます。PBNは指向性のある熱伝導性と最適な熱拡散率で知られ、温度安定性を1700℃まで向上させ、熱衝撃に強く、グラファイトにコーティングした場合、ほとんどの溶融金属（Al, Ag, Cu, Ga, Ge, Snなど）や酸、高温アンモニア環境などの腐食性環境からの保護を提供します。
| 熱分解窒化ホウ素 | ||
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主な機能 |
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主な用途 |
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産業 |
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ヒーターとサーマルソリューション
高温下での均熱性の向上
半導体と化合物半導体向けヒーター製品の設計で40年以上もの実績を持つモメンティブ・テクノロジーズには、石英とウェハ処理装置の差別化をサポートできる態勢が整っています。この経験をもとに、高温用途 (500℃以上)、均熱性の向上 (2℃未満)、全体的な所有コストなどを考慮しながら、それぞれの用途にあったサーマルソリューションを開発しています。
モメンティブ・テクノロジーズは、PBN/PGヒーター、TaCヒーター、ヒーターモジュール、サーマルレベラーを正確な熱、電力、サイズの仕様に合わせて製造しています。フルサービスの分析ラボと専門エンジニアのチームがお客様と特定のアプリケーションに適したソリューションの設計をサポートいたします。 