セラミック材料
セラミックコーティング
安定性と 純度を極限まで追求
モメンティブ・テクノロジーズは、エンジニアリング・コーティング・ソリューションの世界的リーダーとして認められています。 高度な技術を誇る当社の専門エンジニアチームが、お客様のご要望に合わせてカスタマイズしたソリューションを設計します。
究極の耐熱性と耐薬品性
モメンティブ・テクノロジーは、るつぼ、ガイドリング、ウェハーキャリア、サセプターに独自の炭化タンタル（TaC）コーティングを提供しています。 高純度、高温安定性、高い耐薬品性を持つTaCコーティングは、SiC/GaN結晶とエピ層の製品品質を向上させ、主要なリアクターコンポーネントの寿命を延ばします。
| 炭化タンタル | ||
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潜在的な用途 |
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高温での絶縁不良が避けられない場合に、当社の窒化ホウ素焼結体が解決策となります
熱分解窒化ホウ素（PBN）は、高い電気抵抗と熱伝導性を併せ持ち、低熱膨張率、耐熱衝撃性が要求される用途使用検討できる優れた材料です。 毒性はなく、非多孔性、高純度のPBNは、2次元または3次元の形状のグラファイト上に容易に蒸着し、るつぼ、ボート、板材、ウェハー、チューブ、ボトルなどの形状で使用することができます。 異方性により厚み方向への優れた断熱性と面方向への優れた熱伝導性で知られるPBNは、1700℃まで高い温度安定性があり、熱衝撃にも高い。グラファイトにコーティングした場合は、ほとんどの溶融金属（Al、Ag、Cu、Ga、Ge、Snなど）や酸、高温アンモニアを含む腐食環境からグラファイトを保護することができます
| 熱分解窒化ホウ素 | ||
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主な機能 |
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可能性
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超高温下における熱均一性
半導体と化合物半導体向けヒーター製品の設計で40年以上もの実績を持つモメンティブ・テクノロジーズには、石英とウェハ処理装置の差別化をサポートできる態勢が整っています。 この経験をもとに、高温用途 (500℃以上)、均熱性の向上 (<2℃未満)、トータルコストなどを考慮しながら、それぞれの用途にあったサーマルソリューションを開発しています。
モメンティブ・テクノロジーズは、PBN/PGヒーター、TaCヒーター、ヒーターモジュール、サーマルレベラーを正確な熱、電力、サイズの仕様に合わせて製造しています。 フルサービスの分析ラボと専門エンジニアのチームがお客様と特定のアプリケーションに適したソリューションの設計をサポートいたします。 