石英製品

石英ルツボ

信頼できます。 多用途。 優れています。

半導体用シリコンウェハーは、多結晶シリコン(ポリシリコン)を石英ルツボに入れて加熱溶融し、単結晶シリコンとして引き上げることで製造されます。 当社の石英ルツボは高純度と耐熱性を兼ね備え、容器内溶融シリコンの汚染を抑えるのにも最適です。

製品の特長

  • ユーザー様のニーズに合わせてサイズ、材質、特性をカスタマイズ可能です。
  • 世界中の地域の営業所は、迅速で行き届いた現地サポートを保証します
  • 直径14インチから36インチまで幅広いサイズに対応しております。

主な用途

  • 半導体及びソーラー用単結晶シリコンの製造
  • 各種材料の焼成
  • 半導体製造用部品
  • ベルジャー

るつぼの概略図

製品グレード

半導体用

モメンティブ・テクノロジーは、天然シリカから合成シリカまで、さまざまな組成のシリカを提供しています。 その他、サイズや気泡含有量など、ユーザー様のご希望に合わせカスタマイズすることも可能です。

グレード 概要
530-595
Natural sand grade - MT Germany, MT China
541
Synthetic silica inner surface - MT Germany
T230-T240
Natural sand grade - MT Yamagata

光学ガラス用

モメンティブ・テクノロジーは、光学透過率や内面ガラスの品質を最適化するために、気泡含有率などの特性をカスタマイズすることができます。

グレード 概要
T200
Synthetic silica inner surface - MT Yamagata

標準サイズ

Size OD W1 W2 W3 R1 R2
14"
363 ± 3
8 ± 3
8 ± 3
8 ± 3
381
90
16"
404 ± 3
9 ± 3
9 ± 3
9 ± 3
406
90
18"
457 ± 3
10 ± 3
10 ± 3
10 ± 3
457
90
20"
507 ± 3
10 ± 3
10 ± 3
10 ± 3
507
100
22"
556 ± 3
10 ± 3
10 ± 3
10 ± 3
558
110
24"
607 ± 3
12 ± 3
15 ± 3
12 ± 3
610
120
28"
708 ± 4
13 ± 4
15 ± 4
13 ± 4
708
140
32"
809 ± 4
14 ± 5
23 ± 5
15 ± 5
810
160
36"
909 ± 5
17 ± 4
28 ± 5
17 ± 4
910
180

このチャートに記載の情報は、情報提供のみを目的としています。 この情報は、製品や材料を推奨するものではなく、特定の使用ケースやニーズに情報を適用する際には、お客様ご自身の専門知識と専門的な判断を用いていただくことを明示的な条件として、お客様に提供されています これは一般的な情報のみであり、その有効性は、モメンティブ・テクノロジーズが把握していない個々の要因によって影響を受ける可能性があります。 この情報を使用する方は、特定の状況に関して適切な解釈と適用を行う責任があります。

詳細情報

ルツボ

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