セラミック材料

セラミックコーティング

安定性と 純度を極限まで追求

モメンティブ・テクノロジーズは、エンジニアリング・コーティング・ソリューションの世界的リーダーとして認められています。 高度な技術を誇る当社の専門エンジニアチームが、お客様のご要望に合わせてカスタマイズしたソリューションを設計します。

究極の耐熱性と耐薬品性

モメンティブ・テクノロジーは、るつぼ、ガイドリング、ウェハーキャリア、サセプターに独自の炭化タンタル(TaC)コーティングを提供しています。 高純度、高温安定性、高い耐薬品性を持つTaCコーティングは、SiC/GaN結晶とエピ層の製品品質を向上させ、主要なリアクターコンポーネントの寿命を延ばします。

炭化タンタル
主な機能
  • >2200℃での高温安定性
  • 超高純度
  • 熱衝撃への耐性
潜在的な用途
  • 化合物半導体
    結晶
  • 断熱材
  • LEDと照明
産業
  • 照明器具
  • パワー
  • インダストリアル

高温での絶縁不良が避けられない場合に、当社の窒化ホウ素焼結体が解決策となります

熱分解窒化ホウ素(PBN)は、高い電気抵抗と熱伝導性を併せ持ち、低熱膨張率、耐熱衝撃性が要求される用途使用検討できる優れた材料です。 毒性はなく、非多孔性、高純度のPBNは、2次元または3次元の形状のグラファイト上に容易に蒸着し、るつぼ、ボート、板材、ウェハー、チューブ、ボトルなどの形状で使用することができます。 異方性により厚み方向への優れた断熱性と面方向への優れた熱伝導性で知られるPBNは、1700℃まで高い温度安定性があり、熱衝撃にも高い。グラファイトにコーティングした場合は、ほとんどの溶融金属(Al、Ag、Cu、Ga、Ge、Snなど)や酸、高温アンモニアを含む腐食環境からグラファイトを保護することができます

熱分解窒化ホウ素
主な機能
  • 高純度
  • 低密度
  • ほとんどのガスに対して化学的に不活性
可能性 アプリケーション
  • ルツボ
  • 石英管
  • グラファイトコーティング
産業
  • 電子機器
  • 調剤
  • 半導体

超高温下における熱均一性

半導体と化合物半導体向けヒーター製品の設計で40年以上もの実績を持つモメンティブ・テクノロジーズには、石英とウェハ処理装置の差別化をサポートできる態勢が整っています。 この経験をもとに、高温用途 (500℃以上)、均熱性の向上 (<2℃未満)、トータルコストなどを考慮しながら、それぞれの用途にあったサーマルソリューションを開発しています。 モメンティブ・テクノロジーズは、PBN/PGヒーター、TaCヒーター、ヒーターモジュール、サーマルレベラーを正確な熱、電力、サイズの仕様に合わせて製造しています。 フルサービスの分析ラボと専門エンジニアのチームがお客様と特定のアプリケーションに適したソリューションの設計をサポートいたします。

詳細情報

セラミックコーティング

Hidden
名前*
このフィールドは入力チェック用です。変更しないでください。

ご意見をお聞かせください


台湾办事处

No. 6, 10th Floor, No. 65, Gaotie 7th Road, Zhubei City, Hsinchu, Taiwan

中国办事处

No. 1088 Yuanshen road, Suite 1101 Ping’an Fortune Building, Shanghai 200122, China

+86 21 5848 1388

한국사무소

Momentive Technologies Korea Ltd.

7F of WONIK Building, 20, Pangyo-ro 255beon-gil, Bundang-gu, Seongnam-si, Gyeonggi-do,
Republic of Korea

+82 31 8038 9069

日本オフィス

Momentive Technologies Japan KK

Park West 10th floor, 6-12-1, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 1600023,
Japan

+81 3 6721 1910