セラミック材料
TaCコーティングされたグラファイトヒーター
For High Temperature Thin Film Deposition Equipment
Momentive Quartz Technologies Inc offers high temperature resistive or inductive heaters with a proprietary coating known as Tantalum Carbide (TaC). With its high temperature stability and high chemical resistance, TaC coated graphite heater provides a more robust heating solution that enhances the life of heaters in harsh environment, reduces equipment maintenance cycle/cost, and increase production yield.
製品の特長
- >2200℃での高温安定性
- 超高純度
- Hard coat with low particle release
- Resistance to H2, NH3, SiH4, CH4
- 耐熱衝撃性
- Stable hot electrical resistance
- Robust electrical contact
- コーティングカバレッジ性
- Strong adhesive to graphite
- Simple 1D to complex 3D shapes
主な用途
- Resistive heating coil
- CVD hot filament
- Inductive heating plate
- Inductive heating cylinder
高結晶性及び高均質性のTACコーティング
IR and Optical Image of TaC Heater at 1100°C
TaC Hot Filament Thermal Cycled to 2000°C at Rate 1000°C/min
TaCとSiCコーティングの代表的な物性の比較
| 密度 (gm/cm3) | Emissivity(1) | CTE (x10-6/K) | 硬度 (HK) | 抵抗率 (Ohm-cm) | 耐熱性 | Etch Rate(2) in NH3 (μm/hr) | Etch Rate(3) in H2 (μm/hr) | 厚みのばらつき | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
TaC |
14.3 |
0.3 |
6.3 |
2000 |
1x10-5 |
>2200 °C |
0.2 |
0.1 |
~5% |
|
SiC |
3.2 |
0.8 |
4.5 |
2800 |
2x10-3 |
<1600 °C |
1.5 |
1.7 |
~10% |
注記：テストデータ、 実際の結果と異なる場合があります。
物性は一般的なものであり開発のための規格値ではありません
(1) 放射率 950nm/1000℃での値
(2) NH3でのエッチングレート 1400℃/500Torrでの値
(3) H2でのエッチングレート 1400℃/760Torrでの値
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