ヒーター、静電チャックとモジュール

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セラミック材料 pBNヒーター＆静電チャック 高温半導体プロセス用 PBNヒーターと静電チャック (ESC) PBN/PGヒーターは、1700℃以上の超高真空下にて優れた均熱性 (ウェハで2°C) で動作します。 高温で

セラミック材料 TaCコーティングされたグラファイトヒーター For High Temperature Thin Film Deposition Equipment Momentive Quartz Technologi