セラミック材料
pBNヒーター＆静電チャック
高温半導体プロセス用
PBNヒーターと静電チャック (ESC)
PBN/PGヒーターは、1700℃以上の超高真空下にて優れた均熱性 (ウェハで2°C) で動作します。 高温での化学気相成長法による非常に純度の高い非脆性の耐火材料で、ほとんどの腐食性ガスや液体に対して化学的に不活性であるほか、ほとんどの溶融金属に影響を受けることもありません。 モメンティブ・テクノロジーズは、高温 (最高 1000°C) でのウェハハンドリングのニーズに合わせて、ヒーター機能付き静電チャック (ESC) をカスタム設計することもできます。
高温下でのウェハーハンドリングは難しいものです。 熱分解窒化ホウ素静電チャック（pBN ESC）は、1000℃を超える温度でウェーハを保持することができ、市場で最も汎用性の高いESCです。 高密度のマルチゾーン加熱エレメントにより、ウェーハを非常に狭い温度範囲に保つことができます。 pBN ESCの高い耐熱衝撃性は、急激な温度変化にさらされても機械的に堅牢であることを意味します。
- モメンティブテクノロジーズの窒化ホウ素静電チャックは、市場で最も広い温度範囲（0～1000℃）で超高速J-Rチャッキングを提供します。
- 当社のヒーターに使用されている材料は、熱衝撃に強く、熱質量が非常に小さいため、100℃/分の昇温速度が可能です。
- pBNは完全な高密度材料であり、超高真空に対応します。
製品の特長
- 50ワット/cm2以上の出力密度
- 最大100g/cm2のチャッキング力
- 直径Ø320mm（12.6インチ）まで
- 高密度発熱体により、表面積を最大95%カバー
- 高度にカスタマイズ可能なマルチゾーン・ヒーターとESC機能による最大限の温度制御
標準装備能力
モメンティブ・テクノロジーズのpBN ESCモジュールは、最も複雑な制御スキームにも対応することができます。 マルチゾーンヒーティング、マルチゾーンチャッキング、バックサイドガス、フォーカシングリング、メサは、カスタム設計に組み込むことができる機能のほんの一例です。
モメンティブテクノロジーのpBNヒーターとESCは、クラス最高の温度均一性を備えています。 このESCは、独自のマルチステップCVDプロセスで製造されます。 このプロセスにより、高い発熱体密度と、お客様独自の環境に合わせてカスタマイズされた複雑な発熱体レイアウトが可能になります。
製造とサポート
- 高密度発熱体による優れた熱均一性
- モジュールは、各顧客の特定の要件に合わせてカスタマイズされます。
- 当社のアプリケーション開発エンジニアチームは、熱と流体のモデリングを組み合わせて使用し、お客様の環境に正確に適合するようにお客様と協力することで、当社のモジュールが最高の性能を発揮できるようにしています。
インハウスの能力
- 試験能力
- シミュレーション
- デザイン
詳細情報
pBNヒーターと静電チャック
